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西南石油大学进口产品专家论证意见

系统发布时间:2021-09-14 15:02

采购人

(盖章)

西南石油大学

政府

采购

进口

产品

论证

专家

名单

姓名

工作单位

职称

专业

中国航发成都发动机有限公司

教授级高级工程师

材料加工工程

苟国庆

西南交通大学

教授

材料加工工程

黎红英

中国航发成都发动机有限公司

教授级高级工程师

表面工程

余敏

西南交通大学

副教授

材料加工工程

卫德佳

四川容德律师事务所

律师

法律

一、采购需求

    原子层沉积(Atomic layer deposition)是制备高性能致密薄膜与材料性能优化的重要手段,是一种可以将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法。在ALD工艺过程中,是将不同的反应前驱物以气体脉冲的形式交替送入反应室中,因此并非一个连续的工艺过程。由于ALD工艺是基于材料表面饱和化学吸附及反应的过程,因此每次循环之后都可以获得致密的均匀性好的薄膜,并可以通过反应循环次数精确控制膜厚。因此,在众多沉积方法中,原子层沉积(ALD)方法是一种高精度成膜方法,能够制备高质量,厚度精确可控,大面积厚度均匀薄膜而受到关注。基于以上优点原子层沉积系统广泛应用于能源催化,半导体器件,芯片等相关领域。该设备对学校学科平台建设及高端成果产出具有重要的支撑作用。该设备应用面广,师生受益面大,采购该设备很有必要性。

二、进口产品与国产产品的主要技术指标

    进口产品主要技术指标

    1.小型桌面式设计,占地面积820mm x 640mm x 310mm

    2.ALD反应腔需为热壁式设计,温度需达300℃,确保对高比表面积、3D微纳结构、粉末等样品获得全保型均匀沉积;

    3.侧开式双硅胶环真空密闭舱门设计,双环之间抽真空避免前驱体泄漏;

    4.反应腔内高度3 cm,最大样品高度2.5cm,沉积衬底直径最大8英寸;

    5.反应腔内温度均匀性高于99%, 温度准确度.< ± 1℃;

    6.数字对流真空计1 x 10-4 to 1000 Torr

    7.N2标定惰性载气流量控制MFC 200 SCCM

    8.具备连续和驻留沉积模式;

    9.薄膜不均匀性< ± 1% (1δ)

    10.120V/20A/60Hz USB 控制模块;

    11.4套高速ALD阀门,最短吸合时间为10 ms4组前驱体气路,具备多种材料ALD沉积能力;

    12.一路独立可加热气体支管,确保前驱体从前驱体瓶到反应腔的输运过程稳定,不产生预混和现象。

    13.配备2组前驱体瓶加热器(最大加热温度150℃)和1组氮气辅助接口。用于低蒸发率前驱体和易分解前驱体的输运;

    14.4 组大容量DOT认证150 ml前驱体瓶;

    15.1路外接反应气体接口,带有球阀;

    16.4路水平气体导入喷头,确保反应腔内均匀的气流和温度的分布,从而保证厚度的均匀性;

    17.厂家预装GEMSTAR 操作软件的电脑,全自动电脑控制,自动工艺控制软件。

    国产产品主要技术指标

    台式原子层沉积系统设备目前国内暂时无同类产品。

三、简述说明购买进口设备的理由

    台式原子层沉积系统是制备高质量薄膜的重要手段,目前国内无同类产品,申请购买进口产品合理。同时,该进口产品不属于《中华人民共和国禁止产品、限制进口产品目录》禁止或限制进口产品,购置进口产品符合国家相关法律规定,建议采购进口产品。

拟采购清单

序号

产品名称

数量

1

台式原子层沉积系统

1

相关单位和个人对专家组论证意见有异议的,可以自本公示发出之日起3个工作日内,将书面意见(包括异议具体事项和内容、联系人姓名和联系方式等),分别反馈至采购人和财政部门。

采 购 人联系人:彭世金  电话:028-83032344

财政部门联系人:汤老师  电话:028-86725927       

    注:1此表递交财政部门公示时,应一并提供电子文档;

    2、此表仅适用未纳入统一论证审核范围的进口产品。

附件


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